Deposition Apparatus

摘要

본 발명은 유기발광소자의 투명전극을 증착하는 과정에서, 타겟과 쉴드 사이에 증착물질 입자가 낙하하면서 쇼트가 발생하는 것을 방지하기 위하여 타겟과 쉴드 사이의 갭을 커버하는 차폐부를 구비함으로써 타겟부에서 발생한 이물에 의한 불량을 현저히 감소시킬 수 있는 유기발광소자의 상향식 증착장치를 제공한다.