一种红外波段光阑复合膜、制备方法及复合材料

摘要

本发明公开了一种红外波段光阑复合膜、制备方法及复合材料，属于光学薄膜制造技术领域。本发明红外波段光阑复合膜，具有双层膜结构，第一层为二氧化铪膜层，第二层为铬膜层，与氟化钙基底的结合力强，内应力小，采用照相复制法制备红外光阑工艺性好。本发明红外波段光阑膜层的制备方法，采用蒸镀的方式镀制二氧化铪膜层和铬膜层，而且分两次镀制铬膜层，确保后序采用照相复制法制备光阑线条平整光滑，无透光点，本发明制备方法工艺流程简单，易于操作实现，适于工业化推广应用。本发明红外波段光阑复合材料，基底材料为氟化钙，内层膜为二氧化铪膜层，外层为铬膜层，铬膜层与氟化钙的结合能力强，工艺性能好。

主权项

一种红外波段光阑复合膜，其特征在于，所述复合膜具有两层膜结构，其中第一层膜材料为二氧化铪，第二层膜材料为铬；该复合膜由包括以下步骤的方法制备而成：1)被镀零件清洗后放入真空镀膜设备中，抽真空；2)镀制二氧化铪膜层至所需二氧化铪膜层厚度；3)镀制铬膜层至所需铬膜层厚度的2/3；4)取出被镀零件清洗后重新放入真空镀膜设备，抽真空，镀制铬膜层至所需的铬膜层厚度，即完成红外波段光阑复合膜的制备。