测量力的测量元件、测量体和测量装置以及这种测量体的应用

摘要

本发明涉及一种由对称型32的压电晶体制成的测量元件，用于测量垂直作用于x‑y平面上的力Fz，其中，力Fz导致在测量元件的接受力的表面(5，5′)上发生电荷集聚。在实际应用中需要进行测量，在测量时，正交于力Fz的横向力Fxy在测量体(2)上是可预期的，横向力在测量元件上产生误差信号。根据本发明，测量元件由至少四个、优选八个相同类型的测量元件区段(7)构成，所述测量元件区段具有直的侧面(8，8′)，其中，所述区段(7)在所述x‑y平面中相互接近地并排设置，并在所述侧面(8，8′)上通过狭窄的间隙(9)彼此间隔开，其中，所述区段一起构成圆盘或有孔圆盘(10)的形状，以减少由横向力Fxy在测量元件上引起的干扰信号。此外，晶体方向(11)在所有区段(7)的x‑y平面中沿相同的方向或彼此正交地取向。

主权项

一种测量元件，由对称型32的压电晶体制成，所述测量元件在x‑y平面中被设计为平的，以安装在测量体(2)中用于测量垂直于所述x‑y平面作用的力Fz，其中，力Fz导致在所述测量元件的接受力的表面(5，5′)上发生电荷集聚，所述表面配置有电极(6，6′)，其中，在测量时，在所述测量体(2)上正交于所述力Fz的横向力Fxy是可预期的，所述横向力在所述测量元件上产生误差信号，其特征在于，所述测量元件由至少四个相同类型的测量元件区段(7)构成，所述测量元件区段具有直的侧面(8，8′)，其中，所述区段(7)在所述x‑y平面中相互接近地并排设置，并在所述侧面(8，8′)处通过狭窄的间隙(9)彼此间隔开，其中，所述区段一起构成圆盘或有孔圆盘(10)的形状，以减少由横向力Fxy在所述测量元件上引起的干扰信号，其中，晶体方向(11)在所有区段(7)的x‑y平面中沿相同的方向或彼此正交地取向。