带回收功能的高精度氮氦混合装置

摘要

本实用新型公开了带回收功能的高精度氮氦混合装置，包括混合器，所述混合器的输入端分别接有氦气输气管和氮气输气管，所述氮气输气管和所述氦气输气管的输出端均设有电磁阀；所述混合器的输出端与一缓冲罐的输入端连接，所述缓冲罐的输出端经过一空气压缩机后接入至一高压罐的输入端；所述高压罐的输出管道中设有一阀门，所述高压罐的输出管道外接有一回收管道，所述回收管道分别连接至所述缓冲罐和一混氦回收罐。本实用新型通过不同的检测部件对输气管内的混合气体浓度进行监察，并且通过电子控制单元对不同阀体的控制来调节气体的混合精度，加上设置的回收管道，可以避免浪费气体，自动化程度高，效率大大提升。

主权项

带回收功能的高精度氮氦混合装置，其特征在于：包括混合器，所述混合器的输入端分别接有氦气输气管和氮气输气管，所述氮气输气管和所述氦气输气管的输出端均设有电磁阀；所述混合器的输出端与一缓冲罐的输入端连接，所述缓冲罐的输出端经过一空气压缩机后接入至一高压罐的输入端；所述高压罐的输出管道中设有一阀门，所述高压罐的输出管道外接有一回收管道，所述回收管道连接至所述缓冲罐。