一种真空镀膜设备的进出片室

摘要

本实用新型涉及一种真空镀膜设备的进出片室,包括箱体和固定框架，所述箱体的外壁与固定框架焊接并形成一矩形凹陷空间，其中，所述进出片室还包括一矩形密封板，所述密封板在其四周内壁上固定有密封条，所述密封板通过固定装置固定在所述固定框架上并密封所述矩形凹陷空间，所述密封板上设有至少一通孔，所述至少一通孔通过连接装置与进出片室的抽气管道流体连通。由于通过密封板封闭的矩形凹陷空间与进出片室的抽气管道流体连通，因此该矩形凹陷空间与进出片室同时抽气或进气，从而它们之间基本上没有压差，使得该凹陷空间四周的焊缝不会裂开。

主权项

一种真空镀膜设备的进出片室，包括箱体和固定框架，所述箱体的外壁与固定框架焊接并形成一矩形凹陷空间，其特征在于：所述进出片室还包括一矩形密封板，所述密封板在其四周内壁上固定有密封条，所述密封板通过固定装置固定在所述固定框架上并密封所述矩形凹陷空间，所述密封板上设有至少一通孔，所述至少一通孔通过连接装置与进出片室的抽气管道流体连通。