搬送装置、搬送方法、曝光装置、以及元件制造方法

摘要

搬送装置，具备：第1支承部(3)，对基板的一面供给气体，能通过气体悬浮支承基板；第2支承部(400)，能支承基板的一面；驱动部(402)，使第1及第2支承部的至少一个移动，使第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；以及移送部，将通过驱动部而排列的第1及第2支承部的一方所支承的基板沿第1方向往另一方侧移动。

主权项

一种搬送装置，将基板搬送至对通过气体被悬浮支承的支承部上的基板进行处理的处理装置的所述支承部，其具备：搬出装置，将在所述支承部上被处理后的第1基板从所述支承部上搬出；以及搬入装置，将第2基板搬入所述第1基板已被搬出的所述支承部上；所述搬出装置，具有能支承所述第1基板的搬出用台与使所述搬出用台移动的搬出用移动机构；所述搬入装置，具有能支承所述第2基板的搬入用台与使所述搬入用台移动的搬入用移动机构。