载台升降装置、反应腔室及等离子体加工设备

摘要

本发明提供的载台升降装置、反应腔室及等离子体加工设备，其中：托架驱动源用于驱动轴提升托架作升降运动；波纹管轴穿过轴提升托架与其固定连接；轴提升托架具有安装通孔；波纹管轴上端与载台连接，波纹管轴下端沿竖直方向贯穿腔室壁，且依次穿过直线轴承和安装通孔，并且波纹管轴与直线轴承在竖直方向上滚动配合，波纹管轴与安装通孔间隙配合；在托架驱动源的驱动下，轴提升托架带动波纹管轴在直线轴承内作升降运动，继而实现固定于波纹管轴上的载台的升降运动；轴向定位件用于阻挡轴提升托架与波纹管轴在竖直方向上的相对运动。本发明提供的载台升降装置无需对相应部件的加工精度和装配精度提出较高的要求就可以保证载台的上表面的水平度。

主权项

一种载台升降装置，包括：波纹管轴、轴提升托架以及托架驱动源，其中：所述托架驱动源用于驱动轴提升托架作升降运动；所述波纹管轴穿过所述轴提升托架，并与其固定连接，以随所述轴提升托架作升降运动，继而实现固定于所述波纹管轴上的载台的升降运动；其特征在于，所述载台升降装置，还包括：轴向定位件和直线轴承，其中：所述直线轴承的上端固定在反应腔室的腔室壁上；所述轴提升托架具有安装通孔；所述波纹管轴的上端与所述载台连接，所述波纹管轴的下端沿竖直方向贯穿所述腔室壁，且依次穿过所述直线轴承的轴承孔和所述安装通孔，并且所述波纹管轴与所述直线轴承的轴承孔在竖直方向上滚动配合，所述波纹管轴与所述安装通孔间隙配合；所述轴向定位件用于阻挡所述轴提升托架与波纹管轴在竖直方向上的相对运动。