一种设有新型蒸镀鼓的金属化薄膜真空镀膜装置

摘要

本发明提供一种设有新型蒸镀鼓的金属化薄膜真空镀膜装置，包括真空镀膜室和设于真空镀膜室内的蒸镀鼓，所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构，所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构，所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀坩埚，所述蒸镀鼓包括辊套、辊体、流通管，所述辊套同心套设于辊体外，所述辊体和辊套之间形成冷却腔，所述冷却腔内填充有冷却液，所述辊体外环套有隔热层，所述流通管包括位于冷却腔的冷却管以及位于隔热层内的回流管。本发明可随时进行热交换，保证高速运转的蒸镀鼓也能得到很好的散热。

主权项

一种设有新型蒸镀鼓的金属化薄膜真空镀膜装置，包括真空镀膜室（57）和设于真空镀膜室（57）内的蒸镀鼓，其特征在于：所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构，所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构，所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀坩埚，所述蒸镀鼓包括辊套（1）、辊体（2）、流通管（3），所述辊套（1）同心套设于辊体（2）外，所述辊体（2）和辊套（1）之间形成冷却腔（4），所述冷却腔（4）内填充有冷却液（5），所述辊体（2）外环套有隔热层（6），所述流通管（3）包括位于冷却腔（4）的冷却管（31）以及位于隔热层（6）内的回流管（32），所述冷却管（31）一端和回流管（32）流通，所述辊套（1）两端分别设有第一法兰（7）和第二法兰（8），所述第一法兰（7）上设有轴头组件，所述的轴头组件包括进水管（9）以及同心设置在该进水管（9）内的出水管（10），所述进水管（9）一端和冷却管（31）连通，所述出水管（10）一端和回流管（32）流通，所述第二法兰（8）连接有动力轴（11）。