| 摘要 |
정확한 연마 진척을 감시할 수 있는 연마 장치를 제공한다. 연마 장치는 연마 패드(1)를 지지하는 연마 테이블(2)과, 연마 테이블(2)을 회전시키는 테이블 모터(6)와, 기판을 연마 패드(1)에 압박하여 상기 기판을 연마하는 톱 링(3)과, 기판의 연마 중에 연마 패드(1) 상을 요동하면서 연마 패드(1)를 드레싱하는 드레서(26)와, 드레서(26)의 요동 주기에 상당하는 주파수를 갖는 진동 성분을, 테이블 모터(6)의 출력 전류 신호로부터 제거하는 필터 장치(35)와, 진동 성분이 제거된 출력 전류 신호에 기초하여 기판의 연마 진척을 감시하는 연마 감시 장치(40)를 구비한다. |
