发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR CRYOGENIC COOLING
摘要 본 발명의 일 실시예에 따르면, 로드를 냉각하기 위한 시스템이 제공된다. 상기 시스템은, 로드를 냉각시키기 위한 시스템으로서, 폐루프 주 냉동 시스템을 포함하며, 상기 폐루프 주 냉동 시스템은, 저압의 주 냉매를 수용하여, 상기 주 냉매를 고압 상태로 배출하는 주 압축기; 상기 주 압축기로부터 고압의 주 냉매를 수용하는 입구와, 저압의 주 냉매를 상기 주 압축기로 복귀시키는 출구를 포함하는 절연 인클로저; 상기 절연 인클로저 내의 하나 이상의 열교환기로서, 고압의 주 냉매를 수용하고, 부 냉동 시스템으로부터의 부 냉매를 사용하여 주 냉매를 냉각시키며, 상기 부 냉매는 상기 하나 이상의 열교환기 내에서 상기 주 냉매와 열교환 관계에 있는, 상기 하나 이상의 열교환기; 상기 절연 인클로저 내의 팽창 유닛으로서, 상기 하나 이상의 열교환기로부터 고압의 주 냉매를 수용하고, 저압의 주 냉매를 배출하는, 상기 팽창 유닛; 및 저압의 주 냉매를 로드로 전달하는 공급 라인 및 상기 로드로부터 상기 주 냉동 시스템으로 주 냉매를 복귀시키는 복귀 라인을 포함한다. 상기 시스템은 하나 이상의 부 극저온 냉동기를 포함하는 부 냉동 시스템을 더 포함한다. 시스템 제어 유닛은, 상기 로드로 전달되는 주 냉매의 압력 및 상기 로드의 하나 이상의 온도 중 하나 이상에 기초하여, 로드에 대한 가변적 냉동 용량을 제공하기 위해, 상기 주 냉동 시스템 및 상기 부 냉동 시스템 중 하나 이상의 동작을 제어한다.
申请公布号 KR20170015568(A) 申请公布日期 2017.02.08
申请号 KR20177002757 申请日期 2011.05.12
申请人 브룩스 오토메이션, 인크. 发明人 바틀렛, 알렌, 제이.;존슨, 윌리엄;콜린스, 마크;시소에브, 세르게이;오넬, 제임스, 에이.;에아코바치, 마이클, 제이., 주니어.
分类号 F25B9/14;F25B7/00 主分类号 F25B9/14
代理机构 代理人
主权项
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