摘要 |
본 발명에 의한 접촉연소식 가스센서는, 전기적 연결을 위한 전극들이 구비되는 베이스칩과, 상기 베이스칩에 실장되는 센서칩을 포함하되, 상기 센서칩은, 표면에 다수 개의 나노돌기가 형성되고, 상기 나노돌기의 표면에 활성촉매물질이 결합된다. 본 발명에 의한 접촉연소식 가스센서는, 센서칩의 표면에 형성된 다수 개의 나노 돌기 표면에 활성촉매물질이 담지되므로, 별도의 담체나 나노튜브를 사용하지 아니하더라도 한정된 크기의 센서칩에 보다 많은 양의 활성촉매물질이 담지될 수 있고, 이에 따라 제조 공정이 간단해질뿐만 아니라 제조원가 절감이 가능해진다는 장점이 있다. |