| 摘要 |
(과제) 열 플로우성 및 해상성이 우수하고, 현상시의 잔막률이 높고, 또한 투과율의 장기 안정성이 우수한 막을 형성 가능한 감광성 조성물과, 당해 감광성 조성물을 사용하는 패턴 형성 방법과, 당해 감광성 조성물을 사용하여 형성되는 영구막과, 당해 영구막을 포함하는 CMOS 이미지 센서용 컬러 필터를 제공하는 것. (해결 수단) 알칼리 가용성 폴리머 및 퀴논디아지드기 함유 화합물을 포함하는 감광성 조성물에 있어서, 알칼리 가용성 폴리머로서, 하기 식 (a-1) 로 나타내는 구성 단위 (a1) 과, 가교성기를 갖는 구성 단위 (a2) 와, 하이드록시알킬기를 갖는 구성 단위 (a3) 을 포함하고, 또한 질량 평균 분자량이 15000 미만인 알칼리 가용성 폴리머를 사용한다. |
