一种蒸镀设备及蒸镀方法

摘要

本发明提供一种蒸镀设备及蒸镀方法，该蒸镀设备包括：用于承载待蒸镀基板的机台，所述机台的承载面包括多个分区，每一分区对应所述待蒸镀基板的一蒸镀区；分区温控装置，包括至少两个温控部和温度控制装置，其中，每一所述分区设置一所述温控部，所述温度控制装置用于对所述温控部所提供的温度进行控制，以控制对应的所述蒸镀区上的镀膜的沉积速率。通过本发明，可以在蒸镀一批基板的初期，测量完成蒸镀后的基板的镀膜的厚度，并根据测量的镀膜的厚度，调节不同分区的温控部所提供的温度，以控制下一待蒸镀基板的不同蒸镀区上镀膜的沉积速率，从而保证后续蒸镀的基板的镀膜的厚度的均匀性。

主权项

一种蒸镀设备，其特征在于，包括：用于承载待蒸镀基板的机台，所述机台的承载面包括多个分区，每一分区对应所述待蒸镀基板的一蒸镀区；分区温控装置，包括温度控制装置和至少两个温控部，其中，每一所述分区设置一所述温控部，所述温度控制装置用于对所述温控部所提供的温度进行控制，以控制对应的所述蒸镀区上的镀膜的沉积速率。