一种产品3D检测系统

摘要

本实用新型提供一种产品3D检测系统。该产品3D检测系统包括：投影系统、采集系统和控制系统，其中所述投影系统包括照明光源、匀光装置、起偏器、偏振分束器、空间光调制器和投影物镜。本实用新型利用空间调制的偏振光对被检产品进行照射并基于所采集的图像进行产品3D信息的检测。本实用新型的投影系统能够提供高速、精准的相移，其选用反射式空间光调制器，能够存储多幅图像，实现高速切换，对于不同高度目标物的测量，可以投影不同周期的条纹光。在光路中，空间光调制器倾斜放置，满足该空间光反射器、物镜平面与投影物面交汇于一点，能够在倾斜面上清晰投影。因此，本实用新型的系统3D重建精度远高于现有技术，能够实现更精确的3D检测。

主权项

一种产品3D检测系统，其特征在于，所述产品3D检测系统包括：投影系统、采集系统和控制系统，其中所述投影系统包括照明光源、匀光装置、起偏器、偏振分束器、空间光调制器和投影物镜，所述照明光源对向所述匀光装置并发出照明光束；所述匀光装置接收所述照明光源发出的光束并对其进行匀化；所述起偏器设置在所述匀光装置前方，透射输出偏振方向为第一方向的偏振光；所述偏振分束器倾斜设置于所述起偏器前方并且所述偏振分束器的偏振方向与所述起偏器平行，进而透射偏振方向为第一方向的偏振光；所述空间光调制器位于偏振分束器前方并且能够在所述控制系统的控制下对入射于其上的偏振光进行空间调制，并将经调制的光束经由所述偏振分束器反射至所述投影物镜，其中，经所述空间光调制器所调制的光束中包含偏振方向与所述第一方向垂直的偏振光；所述投影物镜将经调制的偏振光投射在被检产品上；所述采集系统对经照射的所述被检产品进行图像采集；所述控制系统基于所述采集系统采集的图像进行产品检测。