发明名称 金属酸化物半導体層の電気伝導性を増加させる方法
摘要 A method for increasing the electrical conductivity of a metal oxide semiconductor layer at predetermined locations, wherein the method comprises: providing a reducing agent in physical contact with the metal oxide semiconductor layer at the predetermined locations and inducing a chemical reduction reaction between the reducing agent and the metal oxide semiconductor layer, thereby affecting the chemical composition of the metal oxide semiconductor layer at the predetermined locations; and uses of the method.
申请公布号 JP6077109(B2) 申请公布日期 2017.02.08
申请号 JP20150510711 申请日期 2013.04.23
申请人 アイメック・ヴェーゼットウェーIMEC VZW;ネーデルランツェ・オルガニザーティ・フォール・トゥーヘパストナトゥールウェテンシャッペレイク・オンダーズーク・テーエヌオー 发明人 ロベルト・ミュラー
分类号 H01L29/786;H01L21/28;H01L21/336 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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