Chamber unit for real time detecting temperature of laser irradiated area and laser processing system including the chamber unit

摘要

레이저 조사 영역의 실시간 온도 측정을 위한 챔버 유닛 및 이를 포함하는 레이저 가공 시스템이 개시된다. 개시된 챔버 유닛은 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트를 덮도록 마련되는 커버 플레이트와, 상기 커버 플레이트에 마련되는 것으로 레이저 빔이 투과하는 제1 윈도우와, 상기 커버 플레이트에 상기 제1 윈도우와 이격되게 마련되는 것으로 상기 가공 대상물의 특정 영역에 대한 온도 측정을 위한 측정빔이 투과하는 제2 윈도우를 포함한다.