一种进气装置及反应腔室

摘要

本发明提供一种进气装置及反应腔室，该进气装置用于向反应腔室内输送工艺气体，其包括装置本体和流量调节单元，装置本体上设置有进气通道，进气通道的进气端与工艺气源相连通，出气端与反应腔室相连通；流量调节单元包括至少两个气体挡板，至少两个气体挡板分别用于改变沿垂直于进气通道内工艺气体流向的进气通道的横截面中不同位置处的通气面积，来改变从该不同位置处向反应腔室输送工艺气体的流量，以使反应腔室内的工艺气体分布均匀。本发明提供的进气装置，可以提高调节反应腔室内工艺气体分布均匀的速率，从而可以减少调节时间，进而可以提高经济效率。

主权项

一种进气装置，用于向反应腔室内输送工艺气体，所述进气装置包括装置本体，所述装置本体上设置有进气通道，所述进气通道的进气端与工艺气源相连通，所述进气通道的出气端与所述反应腔室相连通；其特征在于，所述进气装置还包括流量调节单元，其中：所述流量调节单元包括至少两个气体挡板，所述至少两个气体挡板用于改变沿垂直于所述进气通道内工艺气体流向的所述进气通道的横截面中不同位置处的通气面积，来改变从该不同位置处向所述反应腔室输送工艺气体的流量，以使所述反应腔室内的工艺气体分布均匀。