| 摘要 |
기판에 도포액을 도포해서 도포막을 형성하고, 또한 상기 도포막을 가열하는 처리에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있는 기술을 제공하는 것. 기판의 보유 지지부와, 기판에 도포액을 공급하는 노즐과, 기판 전체에 도포막을 형성하기 위해, 상기 노즐에 대하여 보유 지지부를 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 상기 보유 지지부에 보유 지지된 기판을 향해서 전자파를 조사하고, 당해 도포막에 포함되는 분자가 서로 결합하는 온도로 상기 도포막 전체를 가열하기 위한 전자파 조사부를 구비하도록 도포 장치를 구성한다. 도포막의 형성 후, 가열 처리를 행하기 위해서 기판을 이동시킬 필요가 없으므로, 처리에 필요로 하는 시간을 짧게 해, 처리량의 향상을 도모할 수 있다. |
