一种用于静电吸盘的射频滤波器

摘要

本发明涉及一种用于静电吸盘的多频率射频滤波器，所述静电吸盘安装在一个等离子处理装置中用于固定待处理基片，所述等离子处理装置包括具有多个射频频率的射频电源连接到等离子发生装置，所述静电夹盘包括一个加热电极，一个射频滤波器连接在所述静电夹盘加热电极和一个加热电源之间，其特征在于，所述射频滤波器包含一个铁芯电感和一个空气电感以及一个滤波电容。其中滤波器的谐振频率的选择使其谐振频率大于要滤除的频率。这样结构的射频滤波器能够以更小的体积实现更高效率的滤波。

主权项

一种用于静电吸盘的射频滤波器，所述静电吸盘安装在一个等离子处理装置中用于固定待处理基片，所述等离子处理装置包括具有多个射频频率的射频电源连接到等离子发生装置，所述静电吸盘包括一个加热电极，一个射频滤波器连接在所述静电吸盘加热电极和一个加热电源之间，其特征在于，所述射频滤波器包含一个铁芯电感和一个空气电感以及一个滤波电容，所述空气电感和所述铁芯电感串联后电连接到所述加热电源的功率输入端，所述滤波电容连接在所述功率输入端和接地点之间；所述具有多个射频频率的射频电源输出一个第一射频频率的电压和一个第二射频频率的电压，所述第一射频频率高于40Mhz，所述第二射频频率低于27Mhz，所述空气电感用于过滤其中的第一射频频率，所述铁芯电感用于过滤第二射频频率。