一种带有防撞击结构的送料装置

摘要

本实用新型提供一种带有防撞击结构的送料装置,包括：基板送料模块、曝光平台和感应器，曝光平台包括：下平台、上平台，感应器通过感应器安装支架安装于下安装座上，下安装座固定于横梁上形成一个相对静止的参考点，曝光平台的上平台与上下汽缸连接，上下汽缸的伸缩轴上还安装有上安装座，上下汽缸工作时，上平台、上安装做都相对于该参考点相对运动，平台向上运动时，上安装座触碰到上面的感应器，机械臂向下平台运动，避免曝光平台与机械臂的碰撞；还在丝杆上设置有防震弹簧套，上平台向上运动时，防震弹簧给与上平台与下安装座缓冲的弹力，避免上平台与下安装座之间的碰撞，本专利申请防止了各部位碰撞，避免设备的损坏。

主权项

一种带有防撞击结构的送料装置,包括：基板送料模块、曝光平台，所述基板送料模块包括有：导轨、机械臂，所述曝光平台包括：下平台、位于下平台上方的上平台，所述下平台位于两个平行的导轨之间；其特征在于：所述上平台与上下气缸连接，所述上下气缸上安装有上安装座，所述上安装座的侧面设置有感应器。