| 摘要 |
노즐유닛 및 이를 구비하는 세정장치가 개시된다. 노즐유닛 및 이를 구비하는 세정장치는 기판에 약액을 분사하는 노즐유닛은 하우징, 하우징 내부로 약액을 주입하는 제1 주입부, 제1 주입부에서 주입되는 약액을 유동시키며 하우징 내측면을 따라 나선형으로 형성되는 제1 유로, 제1 주입부와 마주보도록 구비되고, 하우징 내부로 약액을 주입하는 제2 주입부, 제2 주입부에서 주입되는 약액을 유동시키며, 하우징 내측면을 따라 나선형으로 형성되는 제2 유로를 포함할 수 있다. |
