| 摘要 |
본 발명은, 세라믹 유전체와 금속의 순차적 층 구조가 복수 개로 적층되어 있는 형태의 적층형 세라믹/금속 플랫폼이 적층 방향으로 커팅되어 가스센서의 센서몸체를 이루며, 상기 센서몸체는 세라믹 유전체, 제1 내부전극, 세라믹 유전체 및 제2 내부전극이 순차적으로 층을 이루는 적층체를 적어도 1개 포함하고, 상기 커팅에 의한 절단면을 통해 상기 제1 내부전극과 상기 제2 내부전극이 노출되고, 상기 제1 내부전극은 상기 센서몸체의 제1 측면에 구비된 제1 전극단자에 전기적으로 연결되어 있고, 상기 제2 내부전극은 상기 제1 측면과 마주보는 상기 센서몸체의 제2 측면에 구비된 제2 전극단자에 전기적으로 연결되어 있으며, 상기 제1 전극단자와 상기 제2 전극단자가 설치된 상기 센서몸체의 측면을 제외한 적어도 하나의 측면에 상기 제1 내부전극과 상기 제2 내부전극이 노출되어 센싱면을 이루며, 상기 센싱면의 일부 또는 전체 상부에 가스 검출을 위한 가스감응물질층이 형성되어 있거나, 노출된 상기 제1 내부전극 및 상기 제2 내부전극 상부에 상기 제1 및 제2 내부전극에 비하여 가스감응물질층과의 접촉저항이 낮은 금속막이 형성되어 있고 상기 금속막이 형성되어 있는 상기 센싱면의 일부 또는 전체 상부에 가스 검출을 위한 가스감응물질층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. |
