发明名称 Cleaning apparatus for wire clamp and cleaning system including the cleaning apparatus
摘要 상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 클리닝 장치는 몸체부, 상기 몸체부의 일단과 연결되며, 상기 몸체부로부터 멀어지는 방향으로 연장하는 지지부를 포함하는 팁부, 연마면을 갖는 제1 면 및 상기 제1 면과 반대되는 제2 면을 가지는 연마 부재, 및 상기 연마면이 클리닝 대상면에 접촉 가능하도록 상기 연마 부재를 상기 지지부에 밀착시켜 고정시키는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
申请公布号 KR20170014873(A) 申请公布日期 2017.02.08
申请号 KR20150108867 申请日期 2015.07.31
申请人 삼성전자주식회사 发明人 임준석
分类号 H01L21/02;H01L21/304;H01L21/67 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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