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기판 보지 장치는 기부와, 기부 상에 형성되고, 기판(P)의 이면을 지지하는 지지부(81)와, 기부 상에 형성되고, 지지부(81)에 지지된 기판(P)의 이면과 대향하는 제 1 상면을 갖고, 지지부(81)에 지지된 기판(P)과 기부 사이의 제 1 공간(41)을 둘러싸는 제 1 주벽(31)과, 기부 상에 형성되고, 지지부(81)에 지지된 기판(P)의 이면과 갭을 거쳐 대향하는 제 2 상면을 갖고, 제 1 주벽(31)을 둘러싸는 제 2 주벽(32)과, 기부 상에 형성되고, 지지부(81)에 지지된 기판(P)의 이면과 대향하는 제 3 상면을 갖고, 지지부(81) 및 제 2 주벽(32)을 둘러싸는 제 3 주벽(33)과, 제 1 주벽(31)과 제 2 주벽(32) 사이의 제 2 공간(42)에 기체를 공급할 수 있는 유통구(60)와, 제 2 주벽(32)과 제 3 주벽(33) 사이의 제 3 공간(43)의 유체를 흡입하는 제 1 흡입구(61)를 구비하고 있다. |
