PHOTOMASK LAMINATE COMPRISING THE PHOTOMASK METHOD FOR MANUFACTURING THE PHOTOMASK DEVICE FOR FORMING PATTERN USING THE PHOTOMASK AND METHOD FOR FORMING PATTERN USING THE PHOTOMASK
摘要
본 명세서는 포토마스크, 상기 포토마스크를 포함하는 적층체, 상기 포토마스크의 제조방법, 상기 포토마스크를 이용하는 패턴형성장치 및 상기 포토마스크를 이용하는 패턴형성방법에 관한 것이다.