发明名称 manufacturing method for solar cell
摘要 태양전지의 제조방법이 제공된다. 태양전지의 제조방법은 기판 상에 요철을 갖는 제 1 전극 층을 형성하는 단계와, 상기 제 1 전극 층의 상기 요철을 따라 저농도의 p 타입 도전성을 갖는 산화 제 2 구리(CuO) 층을 형성하는 단계와, 상기 산화 제 2 구리 층 상에 구리 층을 형성하는 단계와, 상기 산화 제 2 구리 층이 노출될 때까지 상기 구리 층을 평탄화하고, 상기 구리 층을 열산화시켜 상기 요철 내에 상기 산화 제 2 구리 층보다 높은 고농도의 p 타입 도전성으로 과잉 도핑된 산화 제 1 구리(CuO) 층을 형성하는 단계와, 상기 산화 제 1 구리 층 상에 광 흡수 층을 형성하는 단계와, 상기 광 흡수 층 상에 n 타입의 도전성을 갖는 산화물 반도체 층을 형성하는 단계와, 상기 산화물 반도체 층 상에 제 2 전극 층을 형성하는 단계를 포함한다.
申请公布号 KR101703520(B1) 申请公布日期 2017.02.07
申请号 KR20110075565 申请日期 2011.07.29
申请人 한국산업기술대학교 산학협력단 发明人 이희철
分类号 H01L31/04;H01L31/0236;H01L31/18 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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