| 摘要 |
삼차원 형상 측정 장치는, 에어 슬라이더 외측 프레임과, 외측 프레임 내에서 축방향 이동 가능한 에어 슬라이더 중공축과, 2개의 지지 아암과, 2개의 구동부와, 2개의 지지부를 갖는다. 에어 슬라이더 중공축에는, 상단의 포커스 광학계와 하단의 프로브부를 연결하는 광로가 형성되는 관통 구멍이 마련되어 있다. 지지 아암은 포커스 광학계와 프로브부와 중공축과의 합계의 무게중심 위치의 높이로부터, 중공축의 중심축에 대해 대칭으로 횡방향의 양측에 돌출되어 있다. 구동부는 각 지지 아암의 중공축 근방 위치에 중공축의 중심축에 대해 대칭으로 배치되며, 외측 프레임에 대해 중공축을 축방향으로 구동한다. 지지부는, 각 지지 아암에 있어서, 구동부보다 중공축으로부터 이격된 위치에서 또한 중공축의 중심축에 대해 대칭으로 배치되며, 각 지지 아암을 횡방향으로 이동 가능하게 지지한다. |
