| 摘要 |
본 발명은 나노와이어를 감싸는 폴리머를 유연성 재질로 구성하고, 기판과 폴리머의 분리를 간단하게 수행하여 전체 제조 비용을 낮출 수 있는 실리콘 나노와이어가 삽입된 폴리머 태양전지의 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다. 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 실리콘 나노와이어가 삽입된 폴리머 태양전지의 제조 방법에 있어서, 베이스와 상기 베이스 상단에 형성되는 에미터층을 포함하는 실리콘 기판을 준비하는 기판 준비 단계; 상기 실리콘 기판 상단에 나노 패턴을 형성하는 마스크 형성 단계; 상기 기판에 습식 에칭을 통하여 끝단에 에미터층이 형성된 나노와이어를 형성하는 나노와이어 제조 단계; 상기 나노와이어가 형성된 기판 상단에 제1폴리머층을 형성하는 제1폴리머층 형성 단계; 상기 제1폴리머층 중, 베이스와 접촉하는 부분을 제외한 나머지를 제거하는 제1폴리머층 일부 제거 단계; 상기 기판 상단에 나노와이어를 수용하는 높이이며, 상기 제1폴리머층과 다른 재질의 제2폴리머층을 형성하는 제2폴리머층 형성 단계; 상기 나노와이어의 끝단이 제2폴리머층에 돌출형성되게 제2폴리머층 상단의 일부를 제거하는 제2폴리머층 일부 제거 단계; 제2폴리머층과 베이스 사이의 제1폴리머층을 제거하는 제1폴리머층 제거 단계; 나노와이어의 하단부를 상기 베이스에서 분리하는 분리 단계; 및 상기 제2폴리머층 상단과 하단에 각각 전극층을 형성하는 전극 형성 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
