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发明名称 CERAMIC COMPOSITION FOR ELECTROSTATIC CHUCK AND ELECTROSTATIC CHUCK USING THE SAME
摘要 본 개시의 일 실시 예에 따른 정전 척은 세라믹 분말 및 도전성 분말을 포함하는 세라믹 조성물로 형성된 세라믹층을 포함한다. 세라믹 층은 낮은 비저항을 가질 수 있으며, 이로 인해 정전 척의 정전 흡착력을 향상시킬 수 있다.
申请公布号 KR20170013655(A) 申请公布日期 2017.02.07
申请号 KR20150106618 申请日期 2015.07.28
申请人 (주)샘씨엔에스 发明人 추호성;나지성;우석균
分类号 C04B35/111;H01L21/683 主分类号 C04B35/111
代理机构 代理人
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