| 摘要 |
본 발명은 제1 외측면(12)에 반대로 배향된 거울 부재(10)의 제2 외측면(14) 상의 제1 전극면(14a)에 제1 전위가 인가될 수 있도록 형성된 거울 부재(10)의 제1 외측면(12) 상의 반사면(12a)을 갖는 거울 부재(10)와, 거울 부재(10)의 제2 외측면(14)에 인접하게 배치되며 제2 전위가 반대 전극(20)의 제2 전극면(22a)에 인가될 수 있는 반대 전극(20)과, 전압 제어 장치(24)에 의해 시간적으로 변화하는 전압 신호가 제1 전극면(14a)과 제2 전극면(22a) 사이에서 인가될 수 있도록 형성된 전압 제어 장치(24)를 구비한 마이크로메카닉 부품에 관한 것이다. 또한 본 발명은 광 편향 장치에 관한 것이다. 또한 본 발명은 마이크로메카닉 부품 및 광 편향 장치의 제조 방법에 관한 것이다. |
