| 摘要 |
본 발명은 패널을 무전해질 용액 내에 디핑한 후 평평하게 눌러준 상태에서 투명한 ITO 패턴의 결함 여부를 검사하여 패턴의 일률적인 검사와 함께 정밀한 검사를 도모함을 제공하도록, 일면에 ITO 패턴이 형성되고 양면에 보호필름이 부착된 패널로부터 ITO 패턴의 결함 여부를 검사하는 패턴검사장치에 있어서, 내부에 무전해 용액을 저장토록 수용하고 저면에 투명한 재질의 투명플레이트를 구비하는 수조부와; 상기 수조부의 무전해 용액에 접하도록 패널을 지지하는 스테이지부와; 상기 스테이지부의 상측에 대응하여 위치하고 상기 스테이지부 상에 안착된 패널을 향해 상하로 왕복이동가능하여 패널을 밀착고정하는 누름지그부와; 상기 수조부의 하측에 위치하고 상기 스테이지부 상에 위치한 패널을 촬영하여 패널에 대한 ITO 패턴의 결함을 검사하는 검사카메라;를 포함하는 용액 디핑식 ITO 패턴 검사장치를 제공한다. |
