2 USE OF BEAM SCANNING TO IMPROVE UNIFORMITY AND PRODUCTIVITY OF A 2D MECHANICAL SCAN IMPLANTATION SYSTEM

摘要

이온 주입 시스템(100)은 이온 빔을 작업부를 고정 또는 지지하기 위해 구성된 엔드 스테이션 방향으로 이온 빔(170)을 안내하도록 구성된 빔 라인 및 스캐닝 시스템을 포함한다. 스캐닝 시스템은 제1 방향을 따르는 제1 스캔 축("고속 스캔"(142)) 및 제2 방향을 따르는 제2 스캔 축("저속 스캔"(144))을 포함하는 2차원 방식으로 이온 빔을 지나 엔드 스테이션을 스캐닝하도록 구성된다. 상기 시스템은 상기 스캐닝 시스템과 관련된 추가적인 스캐닝 구성요소를 더 포함하고 제1 방향과상이한 제3 방향을 가지는 제3 스캔 축을 따르는 엔드 스테이션에 대하여 이온 빔의 스캐닝을 실시하도록 구성된다.