| 发明名称 |
LOW TEMPERATURE CNT GROWTH USING GAS-PREHEAT METHOD |
| 摘要 |
탄소 나노튜브(CNT)를 합성하는 방법은 탄소 나노튜브의 성장을 촉진하기에 충분히 높은 제 1 온도로 가열되는 성장 챔버(growth chamber)를 제공하는 단계; 상기 성장 챔버를 통해 기판을 통과시키는 단계; 및 적어도 유리 탄소 라디칼(free carbon radicals)에 상기 공급 가스의 적어도 일부를 분리하기에 충분한 제 2 온도로 예열된 상기 성장 챔버에 공급 가스를 도입하여 그에 의해 상기 기판 상에 탄소 나노튜브의 형성을 개시하는 단계를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR101703340(B1) |
申请公布日期 |
2017.02.06 |
| 申请号 |
KR20117019627 |
申请日期 |
2010.02.26 |
| 申请人 |
어플라이드 나노스트럭처드 솔루션스, 엘엘씨. |
发明人 |
말레키, 해리 씨.;샤, 투샤르 케이. |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/448;D01F9/12 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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