/ ELECTRIC/MAGNETIC FIELD GUIDED ACID DIFFUSION

摘要

포토리소그래피에 의해 형성되는 라인들에서의 라인 에지/폭 거칠기를 최소화하기 위한 방법들 및 장치들이 제공된다. 리소그래피 프로세스 동안 광산 발생제에 의해 발생되는 산(acid)의 무작위 확산(random diffusion)은 라인 에지/폭 거칠기에 기여한다. 본원에서 개시되는 방법들은 포토리소그래피 프로세스들 동안 전기장 및/또는 자기장을 인가(apply)한다. 필드 인가(field application)는, 라인 및 간격(spacing) 방향을 따라, 광산 발생제에 의해 발생되는 산들의 확산을 제어함으로써, 무작위 확산으로부터 야기되는 라인 에지/폭 거칠기를 막는다. 상기 설명된 방법들을 수행하기 위한 장치들이 또한 본원에서 개시된다.