SINTERED COMPACT AND AMORPHOUS FILM

摘要

본 발명은 양호한 가시광의 투과율과 도전성을 유지할 수 있는 투명 도전막, 특히, 저굴절률의 아모르퍼스막을 얻는 것이 가능한 소결체를 제공하는 것을 과제로 한다. 이 박막은 투과율이 높고 또한 기계 특성이 우수하기 때문에, 디스플레이의 투명 도전막이나 광디바이스의 보호막에 유용하다. 이로써, 광디바이스 특성의 향상, 설비 비용의 저감화, 성막의 특성을 대폭 개선하는 것을 목적으로 한다.