| 摘要 |
극 자외광 시스템은 드라이브 레이저 시스템, 극 자외광 콜렉터 및 타겟 물질 경로를 따라 타겟 물질의 복수의 부분을 배출할 수 있는 타겟 물질 배출부를 포함하는 타겟 물질 배출기를 구비하는 극 자외광 챔버를 포함하고, 여기서 상기 타겟 물질 배출부는 조정가능하다. 극 자외광 시스템은 드라이브 레이저 조정 디바이스, 타겟 물질의 복수의 부분 중 제 1 부분으로부터 반사된 드라이브 레이저의 반사를 검출하도록 지향된 적어도 하나의 검출기, 타겟 물질 배출기, 검출 시스템, 및 드라이브 레이저 조정 디바이스에 결합된 컨트롤러를 포함하는 검출 시스템을 더 포함한다. 상기 컨트롤러는 제 1 타겟 물질로부터 반사된 제 1 광으로부터 타겟 물질의 복수의 부분 중 제 1 부분의 위치를 검출하는 로직을 포함한다. |
