| 摘要 |
기판 수납 용기로서, 하우징과, 선반 부재와, 기판의 단부를 지지하는 하우징용 지지 부재와, 기판을 이동시키는 이동 기구와, 뚜껑과, 기판의 단부를 지지하는 뚜껑용 지지 부재를 구비한다. 하우징용 지지 부재는, 기판 W의 단부를 상방으로 이동 불가능하게 지지하는 최내측부를 가진다. 뚜껑이 하우징에 장착되어 있는 상태에서는, 하우징용 지지 부재와 뚜껑용 지지 부재는, 기판의 하면이 선반 부재와 접촉하고 있지 않는 상태에서 기판의 단부를 협지하고, 또한, 하우징용 지지 부재는 기판의 단부를 최내측부로 지지한다. 뚜껑이 하우징으로부터 이탈할 때, 이동 기구는, 최내측부에 지지되는 기판을 이동시켜, 기판의 단부를 최내측부로부터 떼어내고, 기판을 대략 수평 자세로 선반 부재에 재치시킨다. |
