| 摘要 |
La présente invention concerne un dispositif de support d'au moins un substrat à traiter chimiquement ou électro-chimiquement, comprenant un support (3) doté d'au moins une ouverture traversante (37), et des moyens d'étanchéité (4) comprenant un joint d'applique (40) destiné à s'appliquer contre le substrat au moins un élément gonflable (41) opposé à l'ouverture, s'appliquant contre le joint d'applique (40) et apte à exercer une compression contre ledit joint d'applique. Ce dispositif de serrage de substrat fonctionne par pressurisation ou dépressurisation de l'élément gonflable et garantit une étanchéité entre les deux faces opposées du substrat en maximisant la surface du substrat à traiter et en contrôlant le traitement du chant du substrat. |
