| 摘要 |
전자 부품보다 작은 시야 범위를 갖는 검사 카메라를 이용하여 상기 전자 부품을 검사하는 전자 부품 검사 방법에 있어서, 상기 방법은, 상기 시야 범위의 중앙 부위와 가장자리 부위들을 유효 영역과 제외 영역들로 설정하되 상기 전자 부품의 크기가 상기 유효 영역 크기의 배수가 되도록 하는 단계와, 상기 전자 부품을 상기 유효 영역과 동일한 크기를 갖는 복수의 검사 영역들로 분할하는 단계와, 상기 검사 영역들로부터 복수의 검사 이미지들을 획득하는 단계와, 상기 검사 이미지들의 유효 영역들을 기준 정보와 비교하여 상기 전자 부품의 결함들을 검출하는 단계를 포함한다. |
