| 摘要 |
반송 대차에서 승강 유닛에 의해 승강하는 벨트에 고정되어 카세트를 로딩 및 언로딩하는 핸드 유닛은, 상기 벨트에 고정되는 몸체부와, 상기 몸체부에 구비되며, 상기 벨트에 고정된 몸체부가 승강하면서 발생하는 상기 몸체부의 진동 방향을 측정하기 위한 센서부와, 상기 몸체부에 구비되며, 균형 질량체의 위치를 변경하여 상기 몸체부의 진동을 감소시키는 진동 감쇠부와, 상기 센서부에서 측정된 상기 몸체부의 진동 방향에 따라 상기 균형 질량체의 위치를 변경하도록 상기 진동 감쇠부의 동작을 제어하는 제어부 및 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 카세트를 고정하기 위한 고정부를 포함한다. 따라서, 상기 카세트의 로딩 및 언로딩시 발생하는 진동을 감소시킬 수 있다. |
