Thermally controlled Silicon based Terahertz modulator

摘要

본 발명은 테라헤르츠 변조기에 관한 것으로, 실리콘 기판에 기반한 테라헤르츠 변조기이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 테라헤르츠 변조기는 제1 실리콘 층, 제1 실리콘 층 상의 산화층, 산화층 상의 제2 실리콘 층 및 제2 실리콘 층 상에 마련된 메타물질로 이루어진 전극층을 포함할 수 있다.