| 摘要 |
【課題】熱伝導ペーストを使用せず、接触抵抗の小さいグラファイトプレートとその製造方法を提供こと。【解決手段】グラファイトプレートの表面粗さ（Ｒａ）が１０μｍ以上、４０μｍ未満であり、上記グラファイトプレートの表面内の任意の８０ｍｍの距離の間で、距離８０ｍｍに対する表面凹凸の変化率が、０．０１％以上、０．１３５％以下であるグラファイトプレートを用いる。また、高分子フィルムを不活性ガス中で熱処理するグラファイトプレートの製造方法であり、上記高分子フィルムに行う熱処理は、上記不活性ガスの雰囲気中で、温度が２４００℃以上３２００℃以下であり、温度が２０００℃以上で１０ｋｇ／ｃｍ２以上、１００ｋｇ／ｃｍ２以下の加圧をするグラファイトプレートの製造方法を用いる。【選択図】 図３ |
