| 摘要 |
【課題】種々のリソグラフィー性能を向上させることができる感放射線性樹脂組成物及びそれを用いたレジストパターン形成方法を提供することを目的とする。【解決手段】酸解離性基を含む構造単位を有する重合体、及び感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物であって、上記重合体が、下記式（１）で表される連鎖移動剤を用いるラジカル重合により得られることを特徴とする感放射線性樹脂組成物である。Ａは、−ＣＨ２−、酸素原子、−ＣＨ２Ｏ−又は−ＮＲ２−である。Ａが−ＣＨ２−の場合、Ｘは、−Ｒ３、−ＯＲ３、−ＳＲ３、−ＳｉＲ３Ｒ４Ｒ５、−ＳｎＲ３Ｒ４Ｒ５、−ＳＯＲ３、−ＳＯ２Ｒ３又は−ＰＯ（ＯＲ３）（ＯＲ４）である。Ａが酸素原子の場合、Ｘは、−Ｒ３である。Ａが−ＣＨ２Ｏ−又は−ＮＲ２−の場合、Ｘは、−ＯＲ３である。Ｚは、＝ＣＲ６Ｒ７又は硫黄原子である。【選択図】なし |
