Etchant composition for copper-containing metal layer and preparing method of an array substrate for liquid crystal display using same

摘要

본 발명은 과산화수소, 함불소 화합물, 테트라졸 화합물, 질소를 포함하는 포스폰산 및 물을 포함하는 구리계 금속막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조방법에 관한 것으로, 상기 식각액 조성물은 식각 특성이 우수하며, 특히 두께가 두꺼운 구리계 금속막에 대하여 우수한 식각 특성을 지니고 있다.