发明名称 集積デバイスの再配線層内の環状インダクタ
摘要 いくつかの特徴は、基板と、基板に結合されたいくつかの金属層と、基板に結合されたいくつかの誘電体層と、金属層のうちの1つに結合された第1の金属再配線層と、第1の金属再配線層に結合された第2の金属再配線層とを含む集積デバイスに関連する。第1および第2の金属再配線層は、集積デバイス内の環状インダクタとして動作するように構成される。いくつかの実装形態では、集積デバイスは、第3の金属再配線層も含む。第3の金属再配線層は、第1および第2の金属再配線層に結合される。第3の金属再配線層は、ビアである。いくつかの実装形態では、第1、第2、および第3の金属再配線層は、集積デバイス内の環状インダクタとして動作するように構成される。いくつかの実装形態では、第1、第2、および第3の再配線層は、環状インダクタの巻線のセットを形成する。
申请公布号 JP2017504212(A) 申请公布日期 2017.02.02
申请号 JP20160546091 申请日期 2015.01.20
申请人 クアルコム,インコーポレイテッド 发明人 シーチュン・グ;ライアン・デイヴィッド・レーン;ウルミ・レイ
分类号 H01L25/00;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/12;H01L23/522 主分类号 H01L25/00
代理机构 代理人
主权项
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