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发明名称
薄膜トランジスタ
摘要
ソース電極50及びドレイン電極60と、ゲート電極20と、ゲート絶縁膜30と、保護絶縁膜70と、チャネル層40と、を有し、チャネル層40は、ゲート絶縁膜30と保護絶縁膜70の間に位置し、広がり抵抗値の低い領域42と広がり抵抗値の高い領域44を有する、薄膜トランジスタ1。
申请公布号
JPWO2014125820(A1)
申请公布日期
2017.02.02
申请号
JP20150500148
申请日期
2014.02.13
申请人
出光興産株式会社
发明人
霍間 勇輝;江端 一晃;松崎 滋夫;矢野 公規
分类号
H01L29/786;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/336
主分类号
H01L29/786
代理机构
代理人
主权项
地址
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