| 摘要 |
目的：基板の先端の撓みを防止ぐことで、基板が搬送装置等に衝突することを防止する。手段：対象物を気体により浮上させて第１の方向へ搬送する搬送装置を、前記気体を噴出して前記対象物に与圧することで前記対象物を浮上させる浮上部と、前記第１の方向に延びた無端のベルトと、前記ベルトから突出して前記対象物に接触可能な複数の突起と、を含み、前記対象物を前記第１の方向へ駆動する搬送部と、前記対象物に負圧を与えて前記対象物を前記搬送部に接触せしめる吸引部と、前記浮上部または前記搬送部に含まれ、前記対象物をその幅方向において撓ませる変形手段と、を備えるように構成する。 |
