| 摘要 |
本発明は、ウエハが積載されるウエハカセットと、ウエハカセットに積載されたウエハのヒュームを排気する排気部と、を含み、ウエハカセットは、両側面に備えられてウエハが積載される積載台と、前方に備えられて積載台に積載されるウエハが出入りする前方開口部と、を含み、積載台は、前方開口部に行くほど積載台に積載されたウエハに向けて傾くように備えられる傾斜部を含み、傾斜部には、積載台に積載されたウエハにパージガスを供給するパージガス排出口が備えられるヒューム除去装置に関する。本発明によって、ウエハに残存する工程ガスを効率的に除去することができる。【選択図】 図１ |
