发明名称 粒子除去装置及び半導体製造装置
摘要 【課題】スペース効率がよく、簡単な構造の粒子除去装置を提供する。【解決手段】本発明の粒子除去装置100は、外筒110と、外筒110の一端側の内部に配置され、軸部22、及び軸部22に固定された案内羽根23を有する回転流発生装置20と、外筒110と同軸の状態で、外筒110の他端側を通って、外筒110の内部における回転流発生装置20が配置されている位置から一定距離離間した位置まで延びる内筒120と、外筒110の他端と内筒120の外面との間を封止する封止部材114と、を備え、回転流発生装置20を通って外筒110に流入した流体が、内筒120より外部に流出されることを特徴とする。【選択図】図1
申请公布号 JP2017028188(A) 申请公布日期 2017.02.02
申请号 JP20150147417 申请日期 2015.07.27
申请人 有限会社コンタミネーション・コントロール・サービス 发明人 進藤 豊彦
分类号 H01L21/31;C23C14/00;C23C16/44 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址