| 摘要 |
【課題】密着性、光学的に良好な特性（可視光透過率および遠赤外線反射率）と耐薬品性とに優れる酸化珪素被膜体の提供。【解決手段】基材と、基材の少なくとも一方の面に形成された、（１）〜（５）を満足する酸化珪素膜を有する酸化珪素被膜体。（１）酸化珪素膜が、酸化珪素、酸素、炭素および窒素を含む（２）酸素が、酸化珪素膜に含まれる金属元素、半金属元素および半導体元素から選ばれる少なくとも一種と酸化物を形成（３）窒素が、酸化珪素膜に含まれる金属元素、半金属元素及び半導体元素から選ばれる少なくとも一種と窒化物を形成（４）酸化珪素膜中に含まれる水素を除き、１原子数％以上含まれる元素の総和に対する炭素の含有％が１〜４０％である。（５）酸化珪素膜中に含まれる水素を除き、１原子数％以上含まれる元素の総和に対する窒素の含有％が１〜４０％。【選択図】なし |
